威立雅Sievers分析儀
用SIEVERS*INNOVOX ES實(shí)驗(yàn)室型TOC分析儀分析過(guò)氧化氫中的TOC
檢測(cè)樣品:過(guò)氧化氫
檢測(cè)項(xiàng)目:TOC
方案概述:過(guò)氧化氫(H2O2)是許多行業(yè)在生產(chǎn)工藝中廣泛使用的重要化學(xué)品。許多應(yīng)用(例如半導(dǎo)體制造)都需要使用高純度、低污染的H2O2溶液。有效地檢測(cè)H2O2溶液中的雜質(zhì)濃度(特別是有機(jī)碳濃度),是確定過(guò)H2O2溶液在工藝中的適用性以及H2O2溶液對(duì)工藝和產(chǎn)品的影響的關(guān)鍵。
挑戰(zhàn)
過(guò)氧化氫(H2O2)是許多行業(yè)在生產(chǎn)工藝中廣泛使用的重要化學(xué)品。許多應(yīng)用(例如半導(dǎo)體制造)都需要使用高純度、低污染的H2O2溶液。有效地檢測(cè)H2O2溶液中的雜質(zhì)濃度(特別是有機(jī)碳濃度),是確定過(guò)H2O2溶液在工藝中的適用性以及H2O2溶液對(duì)工藝和產(chǎn)品的影響的關(guān)鍵。
H2O2溶液中的可溶性有機(jī)雜質(zhì)會(huì)對(duì)半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體產(chǎn)品造成影響。由于基體產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),因此分析H2O2溶液中的有機(jī)物含量極為困難。此外,H2O2溶液中的有機(jī)化合物很穩(wěn)定,即使在高反應(yīng)條件下也難以被氧化。要想對(duì)H2O2溶液進(jìn)行準(zhǔn)確而穩(wěn)健的總有機(jī)碳分析,就需要一種能夠有效氧化穩(wěn)定的有機(jī)化合物的儀器和方法。
解決方案
TOC分析被廣泛用來(lái)評(píng)估在半導(dǎo)體工藝中使用的高純度化學(xué)品的質(zhì)量。但分析儀器必須對(duì)易反應(yīng)的基體具有化學(xué)耐受性,并在低pH值下能夠有效氧化有機(jī)碳,以獲得有效結(jié)果。
Sievers InnovOx ES實(shí)驗(yàn)室型TOC分析儀采用超臨界水氧化(SCWO,Supercritical Water Oxidation)技術(shù),能夠有效氧化基體中的難以分析的不穩(wěn)定有機(jī)化合物,從而檢測(cè)出TOC的ppm和ppb濃度。我們已經(jīng)用磷酸、鹽酸、硝酸、硫酸等酸劑成功完成了TOC定量檢測(cè)。
技術(shù)
Sievers InnovOx TOC分析儀采用超臨界水氧化技術(shù),將有機(jī)碳分子氧化為CO2,然后用非色散紅外(NDIR,Non-Dispersive Infrared)檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行精確定量。在超臨界水氧化過(guò)程中,樣品被加熱、加壓,直到水的臨界點(diǎn)以上。在此條件下(375?C和220巴),水成為超臨界流體,水中的有機(jī)物高度可溶,而無(wú)機(jī)鹽不可溶。此條件提高了氧化效率,從而能夠檢測(cè)出反應(yīng)性基體或復(fù)雜基體中的TOC。
過(guò)氧化氫(H2O2)
我們用30%H2O2溶液中的加標(biāo)咖啡因的濃度來(lái)評(píng)估Sievers InnovOx ES實(shí)驗(yàn)室型分析儀分析H2O2溶液中TOC的能力。我們分析了加標(biāo)樣品,并將實(shí)際TOC結(jié)果與預(yù)期值進(jìn)行比較,從而證明了此評(píng)估方法的可行性。我們?cè)趦蓚€(gè)范圍(0-5000 ppm和0-20000 ppm)內(nèi)進(jìn)行分析,證明了分析儀在寬廣的TOC范圍內(nèi)具有適用性。我們還確定了酸劑(HCl)和氧化劑((NH4)2S2O8)的最佳設(shè)置,以得到最準(zhǔn)確和精確的檢測(cè)結(jié)果。
表1中的分析數(shù)據(jù)包括加標(biāo)濃度、從加標(biāo)的30%H2O2樣品中測(cè)得的TOC、TOC百分比回收率。用實(shí)測(cè)TOC值除以加標(biāo)值來(lái)計(jì)算回收的TOC值。
分析數(shù)據(jù)顯示,分析儀能夠?qū)Σ煌瑵舛鹊腍2O2溶液進(jìn)行TOC定量檢測(cè)。為了減少在氧化環(huán)境中損失咖啡因,我們?cè)诩訕?biāo)后3小時(shí)內(nèi)完成分析。
第二項(xiàng)測(cè)試評(píng)估了在一系列氧化劑設(shè)置下的TOC回收率的優(yōu)化情況。向30%H2O2溶液中加入500 ppm咖啡因,然后在0-20000 ppm范圍內(nèi)進(jìn)行分析。檢測(cè)數(shù)據(jù)如表2所示。用實(shí)測(cè)TOC值除以加標(biāo)值來(lái)計(jì)算回收的TOC值。
在各種氧化劑設(shè)置下,500 ppm TOC的回收率都非常好。相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差(RSD)表明,分析范圍的檢測(cè)精確度符合標(biāo)準(zhǔn)。用5%到10%范圍的氧化劑設(shè)置,得出了最佳結(jié)果。
結(jié)論
Sievers InnovOx ES實(shí)驗(yàn)室型分析儀能夠準(zhǔn)確地、精確地檢測(cè)30%的濃縮H2O2溶液中的各種TOC濃度。檢測(cè)的精確度和準(zhǔn)確度很高,咖啡因回收率可達(dá)500 ppm。在整個(gè)檢測(cè)過(guò)程中,分析儀器表現(xiàn)出較佳的穩(wěn)定性,并且耐受H2O2基體,在規(guī)定的維護(hù)周期內(nèi)沒(méi)有發(fā)生降解。
建議
表3是建議的H2O2分析參數(shù)。使用對(duì)各個(gè)TOC濃度范圍建議的參數(shù)組,就能得到最準(zhǔn)確和精確的檢測(cè)數(shù)據(jù)。
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